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第一千一百一十二章 建立在一堆沙子上的事业(1/3)

作者:叨狼
梓琪和童小芸对于生产cu的工艺都非常感兴,缠着范无病带她们去参观一下。

“其实也没有什么好看的,不过你们既然想看,那就去一趟儿好了。”范无病经不住她们的纠缠,于是就答应了下来。

当然,去看cu的制造过程,同去看种大白菜是不同的,范无病提前跟厂里面打了招呼,让他们安排一个方便的时间。

在王荣昌这里呆了两天之后,范无病就带着梓琪和童小芸去了范氏的芯片制造基地,去参观cu的制造过程。

范氏的芯片制造基地,前后总投资超过了十亿美元,由五千名工人历时两年多建造完成,期间一共使用了三万吨钢材和差不多十万立方米的混凝土,铺设了一百多万米长的线缆和二十万米长的管道。

这个制造基地的占地总面积约二十万平方米,相当于将近三十个标准足球场,其中一级无尘室面积达到了四万平方米。在这种大型无尘室里,每立方英尺空间内不小于零点五微米的尘埃数目不允许超过一粒,比医院术室还要干净一百倍。

为了保持无尘环境投入了很高成本,不过,并非所有的车间都需要这种无尘的环境。有的是,地面并非是我们平常所了解的硬地板,而是采用的一种类似于网状的设计,但是非常的坚固,目的是保持空气的流通。房间的空气,每四分钟就要完全的更换一次。

经过了非常严格而繁琐的除尘以及其他环节之后,范无病和梓琪、童小芸在厂方工程师的陪同下,进入了其中的一个无尘车间,在这里工作人员必须穿防尘服,免得让晶圆遭受污染。

他们远远地看过去的时候,就发现远处的技术人员怀里抱着一种盒子走来走去,据工程师介绍,这种盒子一般叫lt,里面装的就是晶圆。那些技术人员要做的,就是把这个lt安装在一个器或者是叫处理工具当中。

基于成本方面的考虑,只有lt入口是在无尘房间中,而其他部分是在低于无尘等级的hase当中。

在工程师的提醒下,梓琪她们特意留意了一下刚才提到的hase”车间的地板,同时也注意到处理那些晶圆片的器,也就是处理刚才技术人员抱着的lt。

整个工厂的无尘房间和器数量是非常的可观的,因为制造一个cu晶圆片的工艺过程是非常的复杂的。

一个ent4cu要使用二十六道光刻掩膜工序,每一个工序又需要很多的处理步骤,再加上搀杂以及金属镀层等,最后一个cu制造工序就有上百道。

很多车间中需要使用紫外线照射,这是必不可少的,但是在无尘车间中通常要使用白光,而范无病他们刚参观的那个无尘车间使用的则是橙色光,这又与其他的无尘车间使用的不同,据工程师解释,这是因为这里是晶圆加工的初步工序,而原因是cu的某一层对白光非常敏感。

工作人员不能直接的接触晶圆片,而是要放在那叫lt的黑色方盒子中,每个盒子能放二十五张晶圆片。这种lt采用的是铝质材料做金属层,颜色是黑的。

当工作人员把lt放到处理器当中的时候,器将会逐个的提取这二十五张晶圆片,处理完毕后再放回到lt中。

从一个无尘房间到另一个无尘房间,lt都是按照预定轨迹自动的被传送的。天花板上面有一条自动轨道,那个轨道就是用来传送lt的。

在某些条件下,lt是被直接的输送到相应的器当中,不需要人工的干预。在每台器上都有一个屏幕,方面技术人员观察目前器工作情况以及晶圆片处理到了哪种程度上。

在这里,最后的成品并非是电脑用户最终使用的cu,晶圆片当中包含了很多的芯片,这些晶圆要被送到如其他装配及测试工厂,在那里晶圆片将被切割,将个体芯片从上面分离下来,测试、贴标并出货,最后才到了电脑用户上。

在看到晶圆棒的时候,童小芸问了一个很奇怪的问题,“为什么要做成圆的,而不做成方的呢?在切割的时候,圆形的边角都会浪费掉吧?”

旁边儿的工程师立刻解释道,“因为在硅提纯的时候,原材料硅将被熔化,并放进一个巨大的石英熔炉,这时向熔炉里放入一颗晶种,以便硅晶体围着这颗晶种生长,直到形成一个几近完美的单晶硅。这种制作方法根据物理法则来说,最后成型的就是一个圆柱体,不能成为方的,把圆柱体切片,就成圆形了,不能想做什么形状就做什么形状。”

童小芸听了之后连连点头,范无病就笑道,“其实我也不大清楚,不过我不好意思问出来罢了。”

所谓的切割晶圆,也就是用器从单晶硅棒上切割下
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